東京大学大学院工学系研究科マテリアル工学専攻　霜垣研究室 / SHIMOGAKI Lab., Dept. of Materials Engineering, The Univ. of Tokyo

学生のみなさんへ

超臨界流中における化学反応を利用した金属・金属酸化物薄膜作製法（SCFD; Supercritical Fluid Deposition）は超臨界流体の持つ特異な性質を利用してアスペクト比（溝や孔の縦横比）が100を超える深遠な3次元構造に対し均一な薄膜形成やボイドレス埋め込みが可能である。また、超臨界流体の持つ溶媒能により気相プロセスに比べて低温での薄膜形成が可能である。

当研究室ではこれまでにCu、Ag、Pt、Niなどの純金属薄膜、CuAgなどの合金薄膜、TiO2、SiO2などの単一酸化物薄膜、Bi4Ti3O12、SrRuO3などの複合酸化物薄膜の形成に成功している。また、反応機構解析を通じた埋め込み性の体系的理解，成長速度と埋め込み性の両立に向けたプロセスアセスメント、高い埋め込み性を利用した新規電子デバイスの作製などを進めている。

非常に高い埋め込み性を示す本プロセスは電子デバイスのデザインルールを刷新する可能性を有しており、ULSI、MEMSを始めとする各種電子デバイスへの応用が見込める。本研究に開発・活用に関心のある多様な企業等との共同研究を期待する。

学部生のみなさん

年間を通じての研究指導

• 研究室を3グループに分け、週1回のグループゼミを通じて研究成果を議論します。
• 研究進捗を議論するとともに、短期的な目標、計画を議論します。
• 全員参加で週1回の談話会を開催し、研究進捗と中長期的な研究計画を発表し議論します。
• 2か月に1度自分の発表が回ってくるので発表能力を鍛えられます。
• また、先輩の発表から研究の進め方や知識を吸収する良い機会です。

学部生の年間スケジュール

  4月　研究室配属

研究テーマを決めます。研究室の共通設備の使い方を理解し、研究の基礎を固めます。
新歓コンパで親睦を深めましょう。

  5月　研究開始

実験を開始し徐々に研究らしくなってきます。週1回の論文輪講を通じて研究論文の読み方を習得し(7月まで)、
研究計画を策定します。

  6月　演習レポート提出

研究テーマに関連する文献調査結果をレポートにまとめます（必修単位）

  7月　卒論計画発表会

1年間の研究計画と3か月間の研究成果をまとめて発表します。背景知識も適宜ビルドアップしていきます。
BBQで暑気払いして、夏を乗り切る英気を養いましょう。

  8月　研究中断

大学院入試に向けた準備のため研究は一旦お休みです。

  9月　大学院入試

大学院入試も終わって卒論発表に向けて研究再開です。

10月　研究再開

研究もいよいよ本格化します。使える装置も増えて行き、一人でできることが増えてきます。

11月　研究加速

自ら考え自ら行動できるようになってきます。ここから2か月が最も研究に集中できる時期です。

12月　研究追い込み

研究もいよいよ追い込みに入ります。うまく成果がまとまってきたら、3月の国内学会の発表申し込みもしましょう。

  1月　卒論要旨提出

いよいよ大詰めです。仕上げの実験に卒論執筆にと正念場です。

  2月　卒論提出 & 卒論発表

研究成果をまとめて発表します。集中して過ごすと1か月でも見違えるほど成長します。

  3月　国内学会発表

1年の研究成果を学会発表します。