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ごあいさつ

「薄膜プロセスが次世代を切り開く」

時代の進展とともに化学技術が発展し、従来製品はますます高度化し、一方で新たな機能をもつ製品が台頭するこの循環は未来永劫続くものと思われる。従来物質の特性向上や新規物質の創成などマテリアル工学はこの流れの未来を大きく左右する。材料の研究は新しい物質を創成することと思われている方も多いが、その作り方(プロセス)と密接に関わっていることが多い。このことは、2000℃/1万気圧の地層中で生成されるダイヤモンドは、化学気相成長法(Chemical Vapor Deposition; CVD)を使うと、数百度/大気圧でも形成できることからも理解できるであろう。

当研究室は材料形成プロセスの中でも薄膜形成プロセスに着目し、プロセスの高度化や新規プロセスの提案を行っている。我々はこれを「デバイスプロ セス工学」と命名し、プロセスの体系的理解、さらにはプロセスパフォーマンスの向上を通じて、従来技術ではなし得なかった高い付加価値をもつ材料の創成に挑んでいる。詳しくは「研究テーマ」をご覧ください。

NEWS

  • 2017.12    出浦助教のc-BNの機械的特性評価に関する論文がPhysica Status Solidi Bから出版されました.
  • 2017.12    M2佐藤宏樹君が化学工学会反応工学部会CVD反応分科会平成29年度学生奨励賞を受賞しました.おめでとうございます!
  • 2017.11    大学院演習(修論計画発表)が行われました.お疲れ様でした.
  • 2017.09    修士1年生3名がメンバーに加わりました.
  • 2017.08    大学院入試が行われました.お疲れ様でした.
  • 2017.08    エリック君送別会を開催しました.アメリカに戻っても元気で頑張ってください.
  • 2017.08    仙台白百合女子大学の大久保准教授と学生さん4名が来訪されました.工学部の研究室は新鮮だったようです.
  • 2017.08    BBQパーティーを4号館中庭で開催しました.
  • 2017.07    D3・李さんお疲れ会を開催しました.
  • 2017.07    博士論文予備審査が行われました.お疲れ様でした.
  • 2017.07    大学院演習(修論中間発表会)が行われました.お疲れ様でした.
  • 2017.07    出浦助教がICNS-12でポスター発表しました.
  • 2017.07    李さん歓迎会を開催しました.
  • 2017.07    趙君(2017年3月修了)のBTOのSCFD製膜に関する論文がECS Journal of Solid State Science and Technologyから出版されました.
  • 2017.07    D3舩門君のSiC-CVDの気相反応速度過程解析に関する論文がECS Journal of Solid State Science and Technologyから出版されました.
  • 2017.06    卒論計画発表会が行われました.お疲れ様でした.
  • 2017.06    李さん(ETH)がインターンシップで1ヶ月間滞在します.
  • 2017.06    D3舩門君がEuro-CVD2017で口頭発表しました.
  • 2017.06    嶋君(2017年3月修了)のSiC-CVDのトレンチ解析に関する論文がJapanese Journal of Applied Physicsから出版されました.
  • 2017.04    新人歓迎会を開催しました.
  • 2017.04    卒論生3名が研究室配属されました.
  • 2017.04    修士1年生3名がメンバーに加わりました.
  • 2017.04    出浦助教が着任しました.